发布日期：2023-04-17 浏览次数：572
R-116制冷剂，中文名称六氟乙烷，商品名称R-116，是一款特种超低温制冷剂，主要用作绝缘气、等离子蚀刻剂,高介电强度冷却剂等。
R1166制冷剂用途
R116作为一款特种超低温制冷剂，主要应用于要求温度非常低的深冷设备中(包括科研制冷、医用制冷等)，R116同时也是超低温配合冷媒的重要组分。
六氟乙烷是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟甲烷高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。
R116制冷剂参数
| 名称：R116、FC-116 | 中文名称：六氟乙烷，电子级氟碳，全氟乙烷，氟里昂116 |
| 英文全称：hexafluoroethane | 化学分子式：CF3CF3、C2F6 |
| 分子量:138 | 标准沸点：-78℃ |
| 临界温度:20℃ | 临界压力：3MPa（绝压） |
| 临界密度：0.613g/cm3 | CAS编号：76-16-4 |
