发布日期：2022-09-07 浏览次数：358
R41制冷剂，中文名称一氟甲烷、氟甲烷、甲基氟，是一种生产氟溴甲烷的原料。
R41制冷剂用途
高纯HFC-41气体是一种绿色、高效的新型蚀刻气，可选择性地蚀刻硅化合物的薄膜，常用于半导体及电子产品的蚀刻制程中。
R41制冷剂参数
| 名称：R409B，HCFC-409B | 分类：混合制冷剂 |
| 分子量：96.5 | 摩尔质量：96.5g/mol |
| 沸点：-36.5℃ | 临界温度：107℃ |
| 临界压力：4.7MPa | 临界密度：0.51g/cm3 |
| 破坏臭氧潜能值：0.033 | CAS编号：75-45-6/2837-89-0/75-68-3 |
