R116六氟乙烷MSDS安全技术说明书

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R116(六氟乙烷,C2F6)可用于一种具多功能的蚀刻技术,常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外,它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。R116可与R23(三氟甲烷)一起用于配置制冷剂R508A(R116占61%)及R508B(R116占54%)。


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